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真空紫外光谱仪
(背景介绍）目前，我国利用特种光源（波长为200纳米以下）用于清洁（有机物）、（如医疗设备）、（如水处理设备）的产品还极少甚至空白；至今没有研制成功的原因是国内没有自主知识产权的、能够完成对 200纳米以下光谱的测量分析鉴定系统。“真空紫外光谱仪”就是对进入“真空紫外”段的光谱，在真空条件下完成测量的系统。由于国内市场尚无产品，进口同类产品又十分昂贵；该同类产品国外价格一般在十万美元甚至数十万美元，非常昂贵；因此，具有真空紫外段光谱的电光源器件的开发、研制受到限制；而极具应用价值、市场急需的高可靠、长寿命、新的电光源器件迟迟不能问世，其应用的领域不能拓展。我公司“真空紫外光谱仪”的研制成功结束了依赖进口的局面；为我国的特种光源及材料在上述领域的应用奠定了基础，在分析仪器领域填补了国内空白。而该产品是本公司自主开发的，价格定 位不及国外的一半，具有很高的性价比。
传统的光谱仪，是在大气中测量的。进入“真空紫外”段（200纳米以下），其光谱特性的测量必需在真空条件下，由精密的光学系统来完成。其关键技术：
（1） 真空状态下的精密机械动密封。
（2） 防油处理。
（3） 连续可调密封狭缝。
（4） 光栅的机械补偿校正。
创新点：
（1） 对各关键环节採用了分布式微处理器的自动控制。
（2） 特殊设计的附加设备，可实现多样片同时测试，减少了在密封条件下频繁安装与拆卸，提高了测试效率与精度。
（3） 取消了传统的动密封，提高了系统的真空度。
本产品的性能已达到国外同类产品先进水平，主要技术指标：
短波长≤50nm(纳米)
分辨率：0. 02nm(纳米)
国内领先水平（国内空白）。
